Halvledarchips är den viktigaste hörnstenen i informationstekniken och en viktig framväxande teknik och industri som länder konkurrerar om att utveckla.Rån, som det grundläggande materialet för tillverkning av halvledarchips, spelar en mycket viktig roll i utvecklingen av Kinas halvledarindustri. När det gäller tillverkningskapacitet för wafers har Kina redan tagit ledningen i världen, men i takt med att den globala "chipbristen" intensifieras kommer det att ytterligare accelerera kapacitetsutbyggnaden.
1. Projektbakgrund
Ett dotterbolag till en inhemsk börsnoterad koncern inom halvledarindustrin, som en ledande aktör inom den nationella industrin för elektroniska informationsmaterial, är engagerat i forskning och utveckling, tillverkning av halvledarmaterial, elektroniska specialmaterial, halvledarkomponenter och andra tekniker. Huvudprodukten är halvledande zonsmältande enkristallkiselskivor, med en global topp tre-styrka och en inhemsk marknadsandel påöver 80 %.
För att påskynda kapacitetsutbyggnaden har företaget investerat cirka 3 miljarder dollar för att initiera byggandet av ett projekt för produktion och tillverkning av kiselskivor med stor diameter för integrerade kretsar i Yixing City, Jiangsu-provinsen. Den andra fasen av projektet lanserades 2021, i linje med det avancerade konceptet "Industri 4.0" och planerar att använda intelligent tillverkning genom hela linjen för att uppnå automatisering, informatisering och intelligent konstruktion av verkstaden. Efter färdigställandet kommer den totala produktionskapaciteten att vara 220 000 8-tums epitaxiella skivor, 200 000 12-tums polerade skivor och 150 000 12-tums epitaxiella skivor per månad, vilket blir en bas för kiselskivorproduktion med globala fördelar. Därför, när det gäller koncernens intelligenta lagerhållning,ROBOTECH har förbättrat intelligensen, informationshanteringen och automatiseringsnivån i sin produktionsbas genom att implementera avancerade intelligenta lagersystem..
2. Projektplantning
ROBOTECH har utnyttjat det 6 meter vertikala utrymmet i sin produktionsbas fullt ut och planerat enAutomatiserat lager med fyra banorför åtkomst till halvledarskivor, som kan hantera totalt över2000 förvaringsplatser, effektivt öka lagringskapaciteten hos wafersEftersom wafern är i form av ett ark använder bäraren en specialanpassad transparent plastbehållare på 330 * 330 * 300 för enkel åtkomst till wafern, med en maximal belastning på 50 kg.Löste problemet med komplexa waferlagringsprocesser och begränsat utrymmesutnyttjande i traditionella lager, vilket uppnådde en dubbel förbättring av utrymmesutnyttjande och effektivitet.
• Zebra-serien staplingskransystem
• 100 m/min och 24-timmars produktionsrytm och 63 P/h per cykel
När det gäller effektiv drift väljer ROBOTECHzebra-serien staplarekransystemför högt dynamiskt materialflöde, med en horisontell hastighet på100 m/min, vilket uppfyller24-timmars produktionsrytmav produktionsbasen, och lagringseffektiviteten kan nå63P/h per cykel.
3. Orädd för utmaningar, skräddarsydd innovation
•Esäkerställa damm- och stöttålighet
•Icke-standardiserad anpassning
•Uultraljudssensorenhet
•TBäraren placeras i en vinkel på 5 grader på hyllorna och gafflarna
Utmaning 1
Lagringsegenskaperna hos halvledarskivor är attsäkerställa damm- och stöttålighet, annars är det lätt att skada ömtåliga wafers. Baserat på detta har ROBOTECH uppgraderat staplingskranens mekaniska struktur tillicke-standardiserad anpassningTill exempel används markskenor av aluminiumlegering istället för konventionella räls, höghållfasta kalldragna pelare av aluminiumlegering används istället för stålpelare, gummiklädda hjul används istället för stålfälgar, kamremslyft används istället för stålvajerlyft och dammtäta skydd läggs till på lastplattformen.Redan i utrustningens tidiga designfas har damm och vibrationers påverkan på varor minimerats, risken för föroreningar i den dammfria verkstaden har minskats,och avkastningen har förbättrats. Renhetsnivån kan uppfylla miljökraven i klass 1000.
Utmaning 2
På grund av waferbärarens genomskinliga plastlåda kan konventionella fotoelektriska sensorer inte användas för lastdetektering. ROBOTECH har innovativt utformat enultraljudssensoranordningför lastdetektering, som automatiskt kan upptäcka varornas tillstånd på hyllor och pallar. Och den är utrustad med en kamera och en mobil manuell manöverskärm för att uppnå noggrann visualisering och spårbarhet av allt material genom hela processen, samtidigt som den felsöker och löser fel på ett mer bekvämt sätt.
Utmaning3
För att förhindra att skivan glider av bäraren,bäraren placeras i en vinkel på 5 grader på hyllorna och gafflarnaHögprecisionspositionering och stabil förgrening uppnås genom att waferlådans nedre spår sätta in i de tre positioneringsstiften på specialverktyget för stapling av den luftburna lastplattformen för lagring. Efter upprepade tester uppnåddes den slutliga positioneringsnoggrannheten.± 2 mm, och gaffeljämnheten uppnåddes99,99 %Dessutom använder utrustningen olika sammankopplingsanordningar, vilket effektivt förbättrar den övergripandestabilitet och säkerhetsfaktor.
Som expert på automatiserade lagerlösningar har ROBOTECH byggt intelligenta logistiklösningarför wafermaterial som är föroreningsfria och spårbara i realtid, baserat på avancerad utrustning och heltäckande system.
Det framgångsrika genomförandet av detta projekt markerarett effektivt genombrott inom automatiserad lagring av halvledarskivor, och betyder också attROBOTECH ger sig officiellt in i halvledarbranschen, vilket ger halvledarföretag intelligenta logistikautomationslösningar. I framtiden kommer ROBOTECH att fortsätta utforska, samla branschkunskap, förbättra resursutnyttjandet och uppnå övergripande effektivitetsförbättringar.
NanJing Inform Storage Equipment (Group) Co., Ltd
Mobiltelefon: +86 25 52726370
Adress: No. 470, Yinhua Street, Jiangning District, Nanjing Ctiy, Kina 211102
Webbplats:www.informrack.com
E-post:[email protected]
Publiceringstid: 11 april 2023
